F10600 - SEMI F106 - Test Method for Determination of Leak Integrity of Gas Delivery Systems by Helium Leak Detector Revision:SEMI F106-0308 (Reapproved 1012) - Inactive This Standard was technically approved

This Standard was technically approved by the Silicon Wafer Global Technical Committee

For FOSBs used with 300 mm wafers

本文書はSEMIコンピュータ統合生産（CIM）フレームワークスタンダードの技術的な基礎を築くためのガイドである。ここではオブジェクト指向とフレームワークテクノロジーを利用するコンポーネントベースのアーキテクチャについて記述してある。このテクノロジーを使うことによってコンポーネントの相互運用性および代替性，アプリケーションの拡張性および再利用の実現が容易になる。本文書ではフレームワークテクノロジーに必要なサポートを行う際の分散オブジェクト通信インフラストラクチャの役割を規定している。CIMフレームワーク仕様を別のインフラストラクチャテクノロジーへマッピングするための方法もこのテクニカルアーキテクチャで扱っている。しかし，そのマッピングは規定されるものではない。新たに出現してきているテクノロジーへのマッピングを定義するには今後も作業が必要だろう。特定のソフトウェアに関して解決する必要がある実装上の問題は本ガイドの範囲外である。

The model specified in this Specification is used in conjunction with the Sensor/Actuator Network Common Device Model (CDM) to completely describe the EPD as it appears from the network interface

SEMI E171-0515 (technical revision)

F10600 - SEMI F106 - Test Method for Determination of Leak Integrity of Gas Delivery Systems by Helium Leak Detector Revision:SEMI F106-0308 (Reapproved 1012) - Inactive This Standard was technically approvedThis Standard was technically approved by the global Facilities Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on August 30, 2012. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in October 2012; originally published March 2008. This Document defines the inboard helium leak test method for gas delivery systems. It covers both conventional metal face sealing and surface mount gas