M05800 - SEMI M58 - DMAを基にしたパーティクル堆積システムとプロセス評価のためのテスト方法 Revision:SEMI M58-1109 - Superseded SEMI E88-0307 (Reapproved 0612)

SEMI E88-0307 (Reapproved 0612)

This test is optional and may be omitted based on the objective of the testing

SEMI M31-1103E (editorial revision)

SEMI E111-0117 (technical revision)

この文書にはいくつかの異なる階層関係が書かれている：監視するものと監視されるもの，レシピとそのサブレシピ，レシピクラスとそのサブクラスなど。こういった階層関係は，電話切り替えシステムやディレクトリツリーといった数多くのさまざまな種類のシステムに反映されている，自然で組織的・分類的な構造を提供する。このスタンダードの意図は，システム構造に厳密な階層関係を実装するよう要求することではなく，むしろ，論理的な階層関係をサポートすることである。

M05800 - SEMI M58 - DMAを基にしたパーティクル堆積システムとプロセス評価のためのテスト方法 Revision:SEMI M58-1109 - Superseded SEMI E88-0307 (Reapproved 0612)global Silicon Wafer Committee200994global Audits and Reviews Subcommittee200910www. semi. org200911CD ROM20047 SEMI M52SSISs: scanning surface inspection systemsCRMs: certified reference materialsSEMI M53DMA: differential mobility analyzerCMRs SEMI M52 Referenced SEMI Standards SEMI M50 Test Method for Determining Capture Rate for Surface Scanning Inspection Systems by the Overlay Method SEMI M52 Guide for Specifying Scanning Surface Inspection