E05418 - SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用のセンサ／アクチュエータネットワークのデバイスモデルの仕様 StdPbc-0709 SEMI F31-0313 (technical revision)

SEMI F31-0313 (technical revision)

and A3-1 (figure)

SEMI E173-0415 (first published)

本仕様には，一般用と自動搬送用の二種類がある。

注意：　本文書は，SEMI E54一連のスタンダードとして出版されず，単独で発行および販売される。

E05418 - SEMI E54.18 - 真空ポンプ機器専用のセンサ／アクチュエータネットワークのデバイスモデルの仕様 StdPbc-0709 SEMI F31-0313 (technical revision)global Information & Control Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201112www. semiviews. org www. semi. org20063200611 SEMI E54 SEMIVPD Referenced SEMI Standards SEMI E39 Object Services Standard: Concepts, Behavior, and Services SEMI E54 Sensor Actuator Network Standard SEMI E54. 1 Standard for Sensor Actuator Network Common Device Model SEMI E52 Practice for Referencing Gases and Gas Mixtures Used in Digital Mass Flow