E05300 - SEMI E53 - Event Reporting Revision:SEMI E53-0704 - Inactive SEMI G63-95 (first published)

SEMI G63-95 (first published)

This Guide is for use with 1/4-inch distribution systems at operating pressures no greater than 345 kPa (50 psi)

1  The purpose of this Standard is to provide a test method for measurement of mass flow controller (MFC) transient characteristics

本スタンダードは同期および非同期メッセージのメッセージヘッダ，あるいは「エンベロープ」情報の作成に必要なXMLによる構造を規定する。本件はSEMIスタンダードに準拠するアプリケーションで，非同期メッセージ通信を使うものにのみ適用する。XMLはタグを使って情報を伝文化する様なソフトウエアアプリケーションに使われるが，そのタグはXMLスキーマで指定される構造とデータ型を与えてくれるものである。XMLはアプリケーション間で配送したり，経路の指定に必要な情報を構造化する用途としても使われる。個々に開発して多数の互換性のないXML用のプロトコルになってしまうのを避けるためにメッセージヘッダの標準化が必要である。本仕様を「XMLメッセージ通信に関する仕様」と呼ぶこととする。

Parameters and Range of Performance

E05300 - SEMI E53 - Event Reporting Revision:SEMI E53-0704 - Inactive SEMI G63-95 (first published)This standard was technically approved by the global Information & Control Committee and is the direct responsibility of the Japanese Information & Control Committee. Current edition approved by the Japanese Regional Standards Committee on April 30, 2004. Initially available at www. semi. org June 2004; to be published July 2004. Originally published December 1996. Access to process data in equipment is crucial for effective process monitoring and