S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境，健康，安全のためのガイドライン Revision:SEMI S6-0618 - Current This Specification defines equipment metadata

This Specification defines equipment metadata based on SEMI E125-0710 and SEMI E120-0310

本ドキュメントの意図は，特殊なテストプログラムを提案することでなく，ここに含まれているパラメータをテストをする時に使用するテスト方法を定めることにある。ユーザは，厳しくコントロールされたテスト条件に基づいて精度や精密度，バイアス（歪み），直線性，短期再現性およびデッドバンドを調べるためにこのドキュメントを利用することができる。

If the initial injection level is sufficiently low

their hazards

3-0600 (Withdrawn 0811)

S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気換気に関する環境，健康，安全のためのガイドライン Revision:SEMI S6-0618 - Current This Specification defines equipment metadataNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI SME 8 Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI F5 Guide for Gaseous Effluent Handling SEMI S2 Environmental, Health, and Safety Guideline for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI S14 Safety Guidelines for Fire Risk