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orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2005年11月発行，前版は2007年11月に発行された。
SEMI 3D2 — Specification for Glass Carrier Wafers for 3DS-IC Applications
and 150 mm Plastic and Metal Wafer Carriers
The final goal of the Standard is to realize the traceability of semiconductor
that include cations and anions with atomic numbers between 16 (S) and 92 (U) independent of their chemical state
G08100 - SEMI G81 - マップデータ・アイテムの仕様 Revision:SEMI G81-0307 - Superseded orgで，そして2009年3月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2005年11月発行，前版は2007年11月に発行された。NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Automated Test Committee2003312global Audits and Reviews Subcommittee20035www. semi. org200020033 SEMI G81SEMI G81. 10307 Subordinate Standard: SEMI G81. 1 0307 Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communications
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