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Sapphire wafers represent a key inflection point to obtain these goals
上記の機能化グループの定義，次のものを含む:
SEMI D31では，目視検査とCCDベースの計測器との比較において，FPDの欠陥および斑点を検出する方式を導出した。
SEMI M40-1109 (technical revision)
SEMI E40-0703 (technical revision)
M03400 - SEMI M34 - SIMOXウェーハを規定するための指針 Revision:SEMI M34-0299 - Superseded Sapphire wafers represent a key0. 5 mSIMOXSIMOX SOI Referenced SEMI Standards SEMI M1 Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers SEMI M22 Specification for Dielectrically Isolated (DI) Wafers
