PV09800 - SEMI PV99 - Classification of Building Integrated Photovoltaic (BIPV) Revision:SEMI PV99-0321 - Current GEMはすべての半導体製造装置を対象にSECS-IIの標準的な適用方法を定義している。GEMスタンダードは装置の動作と通信性能の一般的集合を定義しており，それによって半導体デバイス製造業者の行う製造自動化プログラムをサポートするための機能性と柔軟性を得ている。装置サプライヤは，GEMで定義した動作や性能のどれとも矛盾しない限り，GEMに含まれていないSECS-IIの機能を追加することができる。追加されるものとしては，SECS-IIメッセージ，収集イベント，アラーム，リモートコマンド，プロセシング状態，変数データ項目（データ変数，状態変数もしくは装置定数），あるいは，クラス（エッチャー，ステッパーなど）や個別装置の事例ごとに固有の機能性などがある。

GEMはすべての半導体製造装置を対象にSECS-IIの標準的な適用方法を定義している。GEMスタンダードは装置の動作と通信性能の一般的集合を定義しており，それによって半導体デバイス製造業者の行う製造自動化プログラムをサポートするための機能性と柔軟性を得ている。装置サプライヤは，GEMで定義した動作や性能のどれとも矛盾しない限り，GEMに含まれていないSECS-IIの機能を追加することができる。追加されるものとしては，SECS-IIメッセージ，収集イベント，アラーム，リモートコマンド，プロセシング状態，変数データ項目（データ変数，状態変数もしくは装置定数），あるいは，クラス（エッチャー，ステッパーなど）や個別装置の事例ごとに固有の機能性などがある。

3 technology

SEMI S2-0302 (technical revision)

grain boundaries and contamination on the wetted surfaces

orgで入手可能となる。初版は2003年7月発行。前版は2007年11月発行。

PV09800 - SEMI PV99 - Classification of Building Integrated Photovoltaic (BIPV) Revision:SEMI PV99-0321 - Current GEMはすべての半導体製造装置を対象にSECS-IIの標準的な適用方法を定義している。GEMスタンダードは装置の動作と通信性能の一般的集合を定義しており，それによって半導体デバイス製造業者の行う製造自動化プログラムをサポートするための機能性と柔軟性を得ている。装置サプライヤは，GEMで定義した動作や性能のどれとも矛盾しない限り，GEMに含まれていないSECS-IIの機能を追加することができる。追加されるものとしては，SECS-IIメッセージ，収集イベント，アラーム，リモートコマンド，プロセシング状態，変数データ項目（データ変数，状態変数もしくは装置定数），あるいは，クラス（エッチャー，ステッパーなど）や個別装置の事例ごとに固有の機能性などがある。The purpose of this Standard is to standardize the classification of building integrated photovoltaic (BIPV) according to mounting, appearance, supporting, etc. This Standard is intended for producers and users more aware of BIPV. This Standard defines the classification of BIPV. Referenced SEMI Standards (purchase separately) None. Revision History SEMI PV99 0321