E08400 - SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様 StdTpc-Ball Grid Arrays This Specification defines wafer transport

This Specification defines wafer transport planes within cassette and process modules

PROFIBUSとはベンダーから独立した，オープンなフィールドバス・スタンダードで，製造・プロセス・建築の自動化の分野で幅広いアプリケーションに適用される。ベンダーからの独立性および公開性はPROFIBUSに関するヨーロッパ・スタンダードIEC 61158 part 2 から part 6 と IEC 61784-1によって保証されている。PROFIBUSはPROFIBUSのバージョンの一つであり，自動化コントロールシステムと分散I/Oの間にデバイスレベルで高速かつ低コストの接続性を確立できるよう最適化されている。

This Document describes a test method designed to draw comparisons of particulate generation performance of process panels

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panel assemblies

E08400 - SEMI E84 - エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様 StdTpc-Ball Grid Arrays This Specification defines wafer transportglobal Physical Interfaces & Carriers Committee200994global Audits and Reviews Subcommittee200910www. semi. org200911CD ROM19996200711 AMHS: automated material handling systemsFOUPAMHSPI O SEMI E23I O Referenced SEMI Standards SEMI E1. 9 Mechanical Specification for Cassettes Used to Transport and Store 300 Wafers SEMI E15. 1 Specification for 300 mm Tool Load Port SEMI E23 Specification for Cassette Transfer Parallel I O Interface SEMI E30 Generic