E13100 - SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M Revision:SEMI E131-0304 - Superseded 本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。

This Test Method covers determination of the CR

SEMI E37 — Specification for High-Speed SECS Message Service (HSMS) Generic Services

such as identification for both sides of films

Although this Specification does not specify the marking techniques that may be employed when complying with its requirements

E13100 - SEMI E131 - Specification for the Physical Interface of an Integrated Measurement Module (IMM) into 300 mm Tools Using Bolts-M Revision:SEMI E131-0304 - Superseded 本仕様は，センサ／アクチュエータネットワークに関するSEMIスタンダードの実装を規定する一連のスタンダードの一部分として規定するものである。本仕様の目的は特に，ネットワークに依存しないアプリケーションモデルを説明することであり，そのモデルは半導体製造装置のセンサ／アクチュエータ用通信ネットワーク上の真空ポンプデバイス（VPD）すべてに共通なデバイスオブジェクトで構成するものである。NOTICE: This Standard or Safety Guideline has Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. This Document establishes the specification for the interface requirements between an integrated measurement module (IMM) and 300 mm tools using an interface as defined by SEMI E63 (BOLTS M). This Standard will permit the tool