HB01100 - SEMI HB11 - Specification for Sapphire Single Crystal Ingot Intended for Use for Manufacturing HB-LED Wafers Revision:SEMI HB11-0121 - Current 本法は,異なったP/T(精度/許容)比を持つ測定装置購入の事前評価に役立つよう意図されている。また本法は,1つの測定装置において,P/T比が用いられるスループットモードあるいは他の装置のセットアップ要因によって変化する場合,異なったスループットモードでの操作比較を行うのに役立つよう意図されている。本法は,使用者が特定のプロセス能力と必要条件に基づく最適な費用解決策を選択する助けとなる。
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