G02300 - SEMI G23 - 半導体パッケージの内部導体路のインダクタンスのための試験方法 Revision:SEMI G23-0996 (Reapproved 0811) - Superseded The purpose of this standard

The purpose of this standard is to prevent any opening or closing of the isolation valve(s) which would result in an unsafe condition or possible damage to material or equipment

本スタンダードはAMHSストッカー（ストッカーSEM）のための特定装置モデル（SEM）を規定する。このモデルはSEMI E30の基本的要求条件と選択追加能力に追加した装置特性と動作から成り立っている。本仕様が意図するのは，ストッカーSEM準拠の装置を自動化工場（たとえば，半導体組み立ておよびフラットパネルディスプレイ）へ統合しやすくすることである。本書は，工場自動化コントローラ（ホスト）から見てストッカーSEM準拠の装置の運用モデルを定義することで，これを行うものである。この定義で，標準ホストインタフェースと装置の動作行動（たとえば，制御，状態モデル，データ報告）を提供する。いくつかの項目には本仕様の範囲内の動作に追加することが必要となる。すなわち，待ち行列，キャリア移載のためのパラレルインタフェース[SEMI E23]，ストッカー制御アーキテクチャおよび移動ユニットの計画と搬送である。

This Test Method covers test site selection and data reduction procedures for radial variation of the interstitial oxygen concentration in silicon slices typically used in the manufacture of microelectronic semiconductor devices

to achieve an advantage in capacity

Based on the guidance herein

G02300 - SEMI G23 - 半導体パッケージの内部導体路のインダクタンスのための試験方法 Revision:SEMI G23-0996 (Reapproved 0811) - Superseded The purpose of this standardglobal Assembly & Packaging Technical Committee201171global Audits and Reviews Subcommittee20118www. semiviews. org www. semi. org198019969 Referenced SEMI Standards None.