P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク Revision:SEMI P3-0308 - Inactive Bare glass substrates which can

Bare glass substrates which can be used as facing substrates and color filter substrates

本スタンダードは工程内AMHS搬送装置の個別装置モデル（SEM）を確立するものである（IBSEM）。モデルは装置特性および動作で構成されており，それらはSEMI E30の基本要求および追加選択性能と共に実装される予定である。本スタンダードの趣旨は自動化された（半導体製造およびフラットパネルディスプレイなど）工場へのIBSEM準拠の搬送装置の統合を容易にすることである。本文書では工場自動化コントローラ（ホスト）から見たIBSEM準拠の搬送装置の運用モデルを定義して趣旨を実現している。ここでは標準化されたホストインタフェースおよび搬送装置の運用動作（コントロール，状態モデル，データ報告，報告レベルなど）が定義されている。本スタンダードの範疇の課題のいくつかに関しては今後も活動を続ける必要がある。その課題とはトラフィック管理特性（キューイング），キャリア移載のためのパラレルインタフェース（SEMI E23），搬送システムコントローラアーキテクチャ，および搬送単位の配送などである。

－ 従業員が最初に割り当てられた他のファクトリリソース（特定のマシンあるいはファクトリエリアなど）。

This Test Method covers calculation of the near-edge geometry metrics ESFQR

This Test Method is comparative in that the resistivity of an unknown specimen is determined by comparing its measured spreading resistance with that of calibration standards of known resistivity

P00300 - SEMI P3 - レジスト付きクロムブランク Revision:SEMI P3-0308 - Inactive Bare glass substrates which canNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Micropatterning Committee2008118global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org1998 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met.