P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdTpc-Gases - Specialty Category 6d – Notched 150

Category 6d – Notched 150 mm diameter

The purpose of this Standard effort is to provide a common specification for concepts

This Guide is a series of options and instructions intended to increase awareness of the reader to available techniques in the area of energy

これらスタンダードは，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これら特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。したがって，プロセスツールポートと，コンベヤのような連続した直接

and followed by counting in accordance with the Test Method SEMI MF1810

P01100 - SEMI P11 - アルカリ現像溶液に対する全規定度の測定のテスト方法 StdTpc-Gases - Specialty Category 6d – Notched 150NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI global Liquid Chemicals Committee20071220global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org199119979 NOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not