E08700 - SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様 Revision:SEMI E87-0709 - Superseded at both module and equipment

at both module and equipment level

SEMI E5-0600 (technical revision)

125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用1ポートコンポーネントの特性（仕様）と機械的な寸法を規定する。

製造装置上のトランスファポイント（受け渡しポジション）のオブジェクトへのサービスコマンド

SEMI E125-1224 (technical revision)

E08700 - SEMI E87 - キャリア管理（CMS）のための仕様 Revision:SEMI E87-0709 - Superseded at both module and equipmentglobal Information & Control Technical Committee20111224global Audits and Reviews Subcommittee20123www. semiviews. org www. semi. org199920097 SEMI E15. 1300 mm AMHS ID Subordinate Document: SEMI E87. 1 0707 Provisional Specification for SECS II Protocol for Carrier Management (CMS) Referenced SEMI Standards SEMI E15 Specification for Tool Load Port SEMI E15. 1 Specification for 300 mm Tool Load Port SEMI E30 Generic Model for Communications and