E14000 - SEMI E140 - Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Gas Delivery Systems Revision:SEMI E140-1022 - Current SEMI E134-0710 (technical revision)

SEMI E134-0710 (technical revision)

SEMI E18-0211 (technical revision)

to be published July 2003

In particular

本文書は，プロセスパネルのパーティクル発生性能を比較するテスト方法を説明する。このテスト方法は，プロセスパネルの清浄度を「受け取られたまま」の状態および正常稼働状態で評価する。「受け取られたまま」の状態でのテストが意図するのは，ユーザがプロセスプロセスパネルメーカーの製作，清浄化，および包装の技術を評価できるようにすることである。実際の稼働状態でのテストが意図するのは，ユーザがメーカーの部品選択およびパネル設計の品質を評価できるようにすることである。両方のテスト方法に記述された規定流量は，典型的なプロセスパネルのための比較的大きな流量の条件を表現している。

E14000 - SEMI E140 - Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Gas Delivery Systems Revision:SEMI E140-1022 - Current SEMI E134-0710 (technical revision)The purpose of this Guide is to provide standard cost of ownership (COO) metrics for evaluating unit production cost effectiveness of gas delivery systems in the semiconductor and related industries. Gas delivery systems include gases delivered from a solid, liquid, or gaseous source. This Guide also illustrates how to apply the COO metrics to gas delivery systems. Users should be able to calculate the COO for any gas delivery equipment using this