E19700 - SEMI E197 - Specification for Large Tray Stack FOUP (LTSF) Revision:SEMI E197-0226 (Preliminary) - Current 4 This Practice supports requirements

4  This Practice supports requirements listed in SEMI M52

XMLメッセージ通信に関する仕様は確立された，公開され照会し得る，XMLメッセージ通信に関する現実的な関係業界スタンダードを複数利用する。SEMIスタンダードへ応用する際，個々の状況でメッセージ通信に直接要求される必要性がある場合にのみ，既存の関係業界スタンダードを拡張するに止めている。本スタンダードは既存のスタンダードの焼き直しや競合する仕様を作り出そうとするものではないが，既存のスタンダードと整合し使用例を引用することは意図している。

注意：此安全規範於2003年完全重新改寫。

SEMI MF1392-1103 (first SEMI publication)

This Standard defines a Communication Specification based on the DeviceNet® protocol to enable communications between intelligent devices on a Sensor/Actuator Network (SAN) that operate according to SEMI-specified device models (common and device specific) in a semiconductor manufacturing tool

E19700 - SEMI E197 - Specification for Large Tray Stack FOUP (LTSF) Revision:SEMI E197-0226 (Preliminary) - Current 4 This Practice supports requirementsNOTICE: This is a Preliminary Standard. Preliminary Standards are approved for publication by a single chapter of a technical global committee for information and comment prior to letter balloting for its adoption as a Full consensus Standard. Preliminary Standards are published for a period of no more than two years, unless a publication extension is granted by the International Standards Committee. This Preliminary Standard will be removed from