S00100 - SEMI S1 - 設備安全標籤安全基準 StdPbc-0524 本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box for

本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box for interfactory transport）について部分的に規定する。ウェーハを25枚収納できるが，物理容積が13枚ウェーハのFOUPとほぼ同じであるこの狭ピッチのボックスは，IC生産工場間のウェーハ輸送コストを低減することを目的とする。業界の現在の300 mm技術を活用するために，この狭ピッチのフロントオープニングボックスは，SEMI E62で規定されている13枚ウェーハ用のFIMSとインタフェースするものとする。

For standardization of flat panel displays

or gaseous source

This Guide will aid in defining the criteria by which sealing performance can be judged in comparable measurements and seal materials can be chosen

It has been replaced by SEMI F117

S00100 - SEMI S1 - 設備安全標籤安全基準 StdPbc-0524 本スタンダードは，300 mmウェーハの工場間輸送用狭ピッチフロントオープニングボックス（FOBIT: front-opening box forNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. Referenced SEMI Standards SEMI S10 Safety Guideline for Risk Assessment