D05700 - SEMI D57 - Guide for Definition of Measurement Index Visual Contrast Threshold (VCT) for Mura in FPD Image Quality Inspection StdPbc-1111 装置設計に適用される静電気の制御方法は半導体製造施設内の静電気に関連するすべての問題を解決するものではない。施設内の製品またはレチクルの輸送時には静電気の影響を受け，静電気問題の原因となる。製造設備内で動き回る人も静電気の発生源となる。これらの設備の問題は本文書で述べている。

装置設計に適用される静電気の制御方法は半導体製造施設内の静電気に関連するすべての問題を解決するものではない。施設内の製品またはレチクルの輸送時には静電気の影響を受け，静電気問題の原因となる。製造設備内で動き回る人も静電気の発生源となる。これらの設備の問題は本文書で述べている。

SEMI G74 — Specification for Tape Frame for 300 mm Wafers

Diethoxymethylsilane

At present

SEMI E87 — Specification for Carrier Management (CMS)

D05700 - SEMI D57 - Guide for Definition of Measurement Index Visual Contrast Threshold (VCT) for Mura in FPD Image Quality Inspection StdPbc-1111 装置設計に適用される静電気の制御方法は半導体製造施設内の静電気に関連するすべての問題を解決するものではない。施設内の製品またはレチクルの輸送時には静電気の影響を受け，静電気問題の原因となる。製造設備内で動き回る人も静電気の発生源となる。これらの設備の問題は本文書で述べている。Specific definitions and quantifications of Mura are not consistent for many FPD manufacturers. Though there are standards for quantification of Mura, they are only used for limited types of Mura and are not practical in real varied cases. Currently it is still difficult to implement instruments to replace human inspectors for Mura inspections of LCDs. Therefore, it is necessary to standardize the classification of Mura for LCD. This Standard focuses