C00603 - SEMI C6.3 - Particle Specification for Grade 20/0.2 Hydrogen (H2) Delivered as Pipeline Gas StdPbc-0709 本仕様は，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これらの特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。

本仕様は，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これらの特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。

1 This standard specifies extraction limits for metals from liquid chemical distribution system components (e

SEMI C28-0705 (technical revision)

3  These methods are destructive

BWSs may be classified as either temporarily bonded (i

C00603 - SEMI C6.3 - Particle Specification for Grade 20/0.2 Hydrogen (H2) Delivered as Pipeline Gas StdPbc-0709 本仕様は，プロセスツールポートに関する機械的特徴について規定し，また，ツールの前面ないし表面の特徴についても規定する。これらの特徴は，特定の機能のためであるが，特定機能のための設計要求事項を定めるものではない。このインタフェース要求事項は普遍的なものであり，ある特定の搬送様式を奨励することを避けている。This Standard was technically approved by the Gases Global Technical Committee. This edition was approved for publication by the global Audits and Reviews Subcommittee on September 12, 2011. Available at www. semiviews. org and www. semi. org in November 2011; originally published in 1989; previously published March 2003. NOTICE: This Document is no longer supported by the global technical committee. It has been replaced by SEMI C97. The purposes of