C09600 - SEMI C96 - Test Method for Determining Density of Chemical Mechanical Planarization (CMP) Slurries StdTpc-FPD Color Filters pungent odor

pungent odor

originally published in 1991

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6-93 (technical revision)

C09600 - SEMI C96 - Test Method for Determining Density of Chemical Mechanical Planarization (CMP) Slurries StdTpc-FPD Color Filters pungent odorThe purpose of this Test Method is to provide a standardized test method for measuring the density of slurries, defining the sample temperature for the density measurement and specifying the number of significant figures to which the resulting measurement should be measured by the user and reported in the corresponding Certificate of Analysis (CoA) from the supplier. This Test Method describes the conditions and procedures for measuring the density of