E13400 - SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 Revision:SEMI E134-0414 - Superseded tetrakis(dimethylamino) zirconium

tetrakis(dimethylamino) zirconium

announced fab plans and ramp schedules

This Document defines a method of testing the wetted surfaces of stainless steel tubing

本文書では，標準状態のもとでPOU精製器およびフィルタのパーティクル発生性能の比較を行うために考案された試験方法について説明する。この手順では，一般に半導体用途のインラインガスフィルタおよび精製器に適用されている凝縮核カウンタ（CNC）を利用する。本試験方法は，室温で動作させる様々な種類の機能部品に適用される。精製器の定格フローは，0～50標準リットル／分（slm）の範囲内でなければならない。フィルタにおける流量は 0～100 標準リットル／分（slm） の範囲でなければならない。<0} 本方法をより大流量の機能部で使用する場合

SEMI D19-0305 (technical revision)

E13400 - SEMI E134 - 데이터 수집 관리 사양 Revision:SEMI E134-0414 - Superseded tetrakis(dimethylamino) zirconiumInformation & Control Global Technical Committee , global Audits and Reviews Subcommittee 2013 6 4 . 2013 4 www. semiviews. org www. semi. org ; 2004 7 ; 2013 3 . ad hoc , (method) . (data source) (enabling) (disabling) , consumer . (event), (exception) (Trace Data) . , . (behavior) . . (activities) consumer . . Referenced SEMI Standards SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E40 Standard for