MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials StdPbc-0720 これは，パッケージのリード間容量および負荷容量を測定する装置，材質，およびその手法に関するものである。図示の半導体パッケージは一例として示したものであり，他のパッケージの場合もこの方法を用いて測定することが可能である。

これは，パッケージのリード間容量および負荷容量を測定する装置，材質，およびその手法に関するものである。図示の半導体パッケージは一例として示したものであり，他のパッケージの場合もこの方法を用いて測定することが可能である。

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MS01000 - SEMI MS10 - Test Method to Measure Fluid Permeation Through MEMS Packaging Materials StdPbc-0720 これは，パッケージのリード間容量および負荷容量を測定する装置，材質，およびその手法に関するものである。図示の半導体パッケージは一例として示したものであり，他のパッケージの場合もこの方法を用いて測定することが可能である。1 Purpose 1. 1 Microelectromechanical systems (MEMS) are miniaturized systems requiring packaging for environmental protection and for interaction with the external environment. While there is a wide range of MEMS devices, a fairly common need is for packaging that allows movement of some of the internal subcomponents of the device during operation. This is in contrast to the typical integrated circuit that requires only that the device be protected