C03100 - SEMI C31 - Specification for Methanol StdPbc-1116 SEMI F48 — Test Method

SEMI F48 — Test Method for Determining Trace Metals in Polymer Materials

生産現場において自動化の対応が進んでいるが，現状は各工場が独自の仕様により製造装置の制御を行っている。このために製造装置の自動化対応のコストや立ち上げ期間という面で大きなロスを招いている。また，基板サイズがより大きなものへと移行することにより基板の枚葉搬送など新たなニーズに対応する必要もある。本書は，FPD生産現場において自動材料搬送システム (AMHS) や製造装置の基板受け渡しに関する自動化のための標準的な挙動を記述するものである。

This Test Method defines the procedural guideline for measuring the surface hardness of a film and other components for Flat Panel Display (FPD) excluding glass

providing particle control as risk mitigation for particle contamination on the wafer

This Document provides a test method for determining the roughness of polymer surfaces using contact profilometry (CP)

C03100 - SEMI C31 - Specification for Methanol StdPbc-1116 SEMI F48 — Test MethodNOTICE: This Standard or Safety Guideline has an Inactive Status because the conditions to maintain Current Status have not been met. Inactive Standards or Safety Guidelines are available from SEMI and continue to be valid for use. The purpose of this Specification is to standardize requirements for methanol used in the semiconductor industry and testing procedures to support those standards. Test methods have been shown to give statistically valid