S03000 - SEMI S30 - Safety Guideline for Use of Energetic Materials in Semiconductor R&D and Manufacturing Processes StdPbc-0710 分散トランザクション － CIMフレームワークコンポーネントの境界を越えて移動する単位作業のスタート，完了，あるいはロールバックを調整するのに必要なメカニズムを定義する。

分散トランザクション － CIMフレームワークコンポーネントの境界を越えて移動する単位作業のスタート，完了，あるいはロールバックを調整するのに必要なメカニズムを定義する。

For purposes of this document a POU is taken to be: a vessel

• As a guide to equipment suppliers on how to represent the external view of their equipment to the factory host

SEMI E82-0705 (technical revision)

SEMI E116 — Specification for Equipment Performance Tracking (EPT)

S03000 - SEMI S30 - Safety Guideline for Use of Energetic Materials in Semiconductor R&D and Manufacturing Processes StdPbc-0710 分散トランザクション － CIMフレームワークコンポーネントの境界を越えて移動する単位作業のスタート，完了，あるいはロールバックを調整するのに必要なメカニズムを定義する。1 Purpose 1. 1 This Safety Guideline is intended as a minimum set of safety criteria for the procurement, storage, handling, and use of energetic materials in semiconductor research and development (R&D) and manufacturing processes in all phases of use, from process chemical supply through abatement. 1. 2 This Safety Guideline is intended to be industry best practices as of its publication date. 2 Scope 2. 1 The scope of this Safety Guideline is