E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC） StdVol-Facilities This Test Method is applied

This Test Method is applied for

SEMI M21-0318 (technical revision)

本試験方法の目的は，1台のMFCがガスを他のガスに変更したとき，公称平均換算率およびそのMFCの流量関数としての換算率を定量化することである。

半導体装置製造情報タグの目的はマークアップの考え方，マークアップフレームワーク，および下記を促進できるだけの情報マークアップを定義することである：

A recent SEMI survey identified key parameters and dimensions critical to enabling manufacturing automation across multiple manufacturing steps

E12700 - SEMI E127 - 装置組込み計測モジュール通信の仕様：概念，挙動，サービス（IMMC） StdVol-Facilities This Test Method is appliedglobal Information & Control Committee20071220global Audits and Reviews Subcommittee20082www. semi. org20083CD ROM20037200711 IMMC IMMC IMMC Subordinate Document: SEMI E127. 1 0308 SECS IIIMMC Referenced SEMI Standards SEMI E5 SEMI Equipment Communications Standard 2 Message Content (SECS II) SEMI E30 Generic Model for Communications and Control of Manufacturing Equipment (GEM) SEMI E30. 5 Specification for Metrology Specific Equipment Model (MSEM)