E18500 - SEMI E185 - Specification for 300 mm Tape Frame FOUP Revision:SEMI E185-1221 - Superseded orgで入手可能になり，2003年7月に発行に至る。初版は2001年3月発行。

orgで入手可能になり，2003年7月に発行に至る。初版は2001年3月発行。

SEMI MF1451-0707 (Reapproved 0512)

SEMI E84-0200 (technical revision)

orgで。初版は1996年に発行された。

SEMIガス委員会は1979年の春にその活動を始めた。本書を出版することで，委員会は目次にリストアップされているガスに対する定義，一般的手順，仕様，および分析手順を制定した。

E18500 - SEMI E185 - Specification for 300 mm Tape Frame FOUP Revision:SEMI E185-1221 - Superseded orgで入手可能になり，2003年7月に発行に至る。初版は2001年3月発行。1 Purpose 1. 1 The purpose of this Specification is to establish basic physical dimensions for the Tape Frame FOUP which is intended to be used to transport and store 300 mm tape frames, as specified by SEMI G74 and SEMI G87, within IC manufacturing facilities. 2 Scope 2. 1 This Standard specifies the external features and dimensions of the Tape Frame FOUP. 2. 2 This Standard specifies the internal dimensions for storing the tape frames in the Tape