D01300 - SEMI D13 - FPD用カラーフィルタの用語 Revision:SEMI D13-0708 - Superseded 本書の目的は，高純度のガス配管システムに取り付けられる不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の表面成分を特定するテスト方法を定義することである。本テスト方法は，ステンレス鋼製の配管，継ぎ手，バルブ，その他の部品の接ガス表面に適用し，不動態化処理の有効性を測定することを目的とする。

本書の目的は，高純度のガス配管システムに取り付けられる不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の表面成分を特定するテスト方法を定義することである。本テスト方法は，ステンレス鋼製の配管，継ぎ手，バルブ，その他の部品の接ガス表面に適用し，不動態化処理の有効性を測定することを目的とする。

The test method applies to point of use (POU) and large scale purifiers

It is a Guide for establishing optimum electrostatic compatibility of the handling environment for reticles and other items that are extremely electrostatic sensitive (EES) to electrostatic charge

SEMI MF1771 — Test Method for Evaluating Gate Oxide Integrity by Voltage Ramp Technique

and also make corrections for spectral issue and reserves extra time for I-V test due to capacitance effect

D01300 - SEMI D13 - FPD用カラーフィルタの用語 Revision:SEMI D13-0708 - Superseded 本書の目的は，高純度のガス配管システムに取り付けられる不動態化処理した316Lステンレス鋼部品の表面成分を特定するテスト方法を定義することである。本テスト方法は，ステンレス鋼製の配管，継ぎ手，バルブ，その他の部品の接ガス表面に適用し，不動態化処理の有効性を測定することを目的とする。global Flat Panel Display Color Filters & Optical Elements Committee2008513global Audits and Reviews Subcommittee20086www. semi. org20087CD ROM1995200111 FPDCFCF Referenced SEMI Standards SEMI D3 Quality Area Specification for Flat Panel Display Substrates SEMI D20 Terminology for FPD Mask Defect SEMI D21 Terminology for FPD Mask Pattern Accuracy SEMI M21 Guide for Assigning Addresses to Rectangular Elements in a Cartesian Array