C00334 - SEMI C3.34 - Specification for Disilane (Si2H6) in Cylinders, 97% Quality StdPbc-0619 もし説明された水分濃度が，物理の基本的原理に基づいて予測できるなら，この方法は，ppmレンジまたはそれ以下の水分量を供給しているどんなタイプのガスの基準に対しても，適用できると考える。このようにして，分析による特性づけのみにもっぱら依存しているどんなスタンダードも，明確に除外される。

もし説明された水分濃度が，物理の基本的原理に基づいて予測できるなら，この方法は，ppmレンジまたはそれ以下の水分量を供給しているどんなタイプのガスの基準に対しても，適用できると考える。このようにして，分析による特性づけのみにもっぱら依存しているどんなスタンダードも，明確に除外される。

AMHS (including equipment

減圧器は，制御されない場合，多数の人工的パーティクルを疑集，疑縮を通して生じ得ることが知られている。この生成を防ぐために，この仕様は200 bar (3000 psi) までの圧力において稼働するパーティクルカウンターを採用し，圧力逓減とそれに関連する問題に対する必要を無くしている。

such as chip on chip (CoC)

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C00334 - SEMI C3.34 - Specification for Disilane (Si2H6) in Cylinders, 97% Quality StdPbc-0619 もし説明された水分濃度が，物理の基本的原理に基づいて予測できるなら，この方法は，ppmレンジまたはそれ以下の水分量を供給しているどんなタイプのガスの基準に対しても，適用できると考える。このようにして，分析による特性づけのみにもっぱら依存しているどんなスタンダードも，明確に除外される。The purpose of this Standard is to provide a specification for disilane (Si2H6) used in the semiconductor industry. This Standard covers requirements for disilane (Si2H6) used in the semiconductor industry. If analytical methods are not complete, the requirements are presented as a guideline. Referenced SEMI Standards (purchase separately) SEMI C3 Specification for Gases Revision History SEMI C3. 34 0116 (Reapproved 0922) SEMI C3. 34 0116 (technical