C00332 - SEMI C3.32 - Specification for Chlorine (Cl2), 99.996% Quality Revision:SEMI C3.32-1109 - Superseded 本書により与えられた仕様は，半導体や高度電子デバイスおよび電子回路の製造やプロセスに使用されるガスを扱う際に役立つように考えられている。仕様および関連試験手順は，サプライヤおよびユーザの経験に基づいたガイドラインである。仕様としての機能は所要の良質スタンダードを制定することである。

本書により与えられた仕様は，半導体や高度電子デバイスおよび電子回路の製造やプロセスに使用されるガスを扱う際に役立つように考えられている。仕様および関連試験手順は，サプライヤおよびユーザの経験に基づいたガイドラインである。仕様としての機能は所要の良質スタンダードを制定することである。

including shape

SEMI E5-0712 (technical revision)

Dichlorosilane is a flammable

SEMI G66-96 (first published)

C00332 - SEMI C3.32 - Specification for Chlorine (Cl2), 99.996% Quality Revision:SEMI C3.32-1109 - Superseded 本書により与えられた仕様は，半導体や高度電子デバイスおよび電子回路の製造やプロセスに使用されるガスを扱う際に役立つように考えられている。仕様および関連試験手順は，サプライヤおよびユーザの経験に基づいたガイドラインである。仕様としての機能は所要の良質スタンダードを制定することである。The purpose of this Document is to provide specification for chlorine (Cl2) that is used in the semiconductor industry. This Document covers requirements for chlorine used in the semiconductor industry. Referenced SEMI Standards None.