F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 StdPbc-0624 This Guide describes potential sources

This Guide describes potential sources of contaminants

orgで。初版は1988年に発行された。

The intention of this Document is to define a set of requirement and features to enable interoperability of load ports and carriers without limiting innovative solutions

此安全基準涉及鋼瓶內因蒸氣壓或使用氣體當作載氣進行傳送而在氣體狀態下被使用的氣體或液體化學品。

このテスト方法は購入，販売，または内部管理用に研究や開発支援，製品品質のモニターや認定する際の世界中の分析測定施設共通のプロトコルと測定データを提供するために用いることができる。

F08300 - SEMI F83 - 1.125インチタイプ2ファスナー構造サーフェスマウント型ガス供給システム用2ポートコンポーネント（MFC/MFMを除く）の寸法のための仕様 StdPbc-0624 This Guide describes potential sourcesglobal Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 1252 22 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used