M08400 - SEMI M84 - Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers for Gallium Nitride-On-Silicon Applications StdTpc-Automated Test Equipment Pacific Time)

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orgで，そして2007年7月にCD-ROMで入手可能となる。初版は2000年6月発行，前版は2001年11月に発行された。

本文書は2008年9月に，誤字を訂正するため，編集上の修正がなされた。変更箇所は，¶6

サイクル試験法では，コンポーネントの繰り返しの性能を評価し，定常状態での繰り返しよるパーティクルの寄与度を示す。

If this method is to be used for higher flow rate devices

M08400 - SEMI M84 - Specification for Polished Single Crystal Silicon Wafers for Gallium Nitride-On-Silicon Applications StdTpc-Automated Test Equipment Pacific Time)Single crystal (monocrystalline) silicon wafers are utilized for essentially all integrated circuits and many other semiconductor devices. Gallium nitride on single crystal silicon wafers represents emerging markets with applications such as high brightness light emitting diodes (HB LED) or high frequency power devices. At present, the specifications for silicon wafer substrates requested by customers of such wafers differ widely. To permit common