F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Revision:SEMI F82-0312 - Superseded This Standard provides specification for

This Standard provides specification for equipment suppliers to:

注意： 「注」の表題のついた段落は，本スタンダードの公式な一部ではなく，またスタンダード本文の内容の変更や書き換えを意図したものではない。スタンダードの利用を促進するために委員会が提供したものである。

Although this Specification does not specify the marking techniques that may be employed when complying with its requirements

SEMI HB4-0122 (technical revision)

it has been replaced by SEMI C71

F08200 - SEMI F82 - 1.125インチタイプサーフェスマウント型ガス供給システム用マスフローコントローラ／マスフローメータの寸法のための仕様 Revision:SEMI F82-0312 - Superseded This Standard provides specification forglobal Gases Technical Committee2012830global Audits and Reviews Subcommittee201210www. semiviews. org www. semi. org2004320123 1. 125 308 kPa (44. 7 psia)50 slm20 C 3445 kPa (500 psia) Referenced SEMI Standards SEMI E49. 8 Guide for High Purity and Ultrahigh Purity Gas Distribution Systems in Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI F20 Specification for 316L Stainless Steel Bar, Forgings, Extruded Shapes, Plate, and Tubing for Components Used in